本标准适用于半导体工业拉制单晶用的高纯透明石英玻璃坩埚。   

    本坩埚采用天然石英熔制成坯体，并在其内表面涂一层高纯人造石英玻璃层。   

                        一、技术要求     

    1．物理、化学性能指标   

    （1）化学成分   

    a．内涂层化学成分   

    铝、钙、镁、钛、铜、铁、钻，镍、锰、硼、钾、钠、理十三个杂质元素的总含 

量不得大于0．001％。   

其中：铝≤5×l0[-4]％；      铜≤0．l×l0[-4]％；   

      铁≤0．5×l0[-4]％；   硼≤0．1×l0[-4]％； 

      钾≤1×l0[-4]％；      钠≤1×10[-4]％。   

    b．坩埚坯体化学成分       

    铝、钙、镁、钛、铜、铁、钴、镍、锰、硼、钾、钠、锂十三个杂质元素的总含 

量不得大于0．01％。   

其中：铝≤60×10[-4]％；     铜≤0．1×l0[-4]％；  

      铁≤5×l0[-4]％；      硼≤0．3×l0[-4]％；  

      钾≤4×l0[-4]％；      钠≤4×l0[-4]％。     

    （2）热稳定性                     

    试样在1100℃至20℃温度急变下试验三次，不产生裂纹。   

    （3）抗结晶性   

    试样在1200℃温度下恒温半小时，不允许出现直径大于3毫米的析晶白点，0．5～ 

3毫米的析晶白点，每100平方厘米不得超过10个。    

    （4）涂层厚度应均匀，折合重量应符合表1规定。 

表1 

  外径D         涂层重量        外径 D          涂层重量 

  毫米              克           毫米             克 

   80              3.0           106              4.5 

   90              3.5           114              5.5 

  100              4.0           130              7.0 

 

2．外观指标 

    (1)坩埚坯体部分（见表２）。 

          项        目 

气   直径    弧度部分                      0.3￣0.4 

     毫米    直线部分                      0.3￣0.7 

泡   允许数量（个/厘米[2]）                   ≤6 

暗   长    径   弧度部分                      1￣4 

       毫米     直线部分                      2￣4 

疤   允许数量（条/100厘米[2]）                ≤4 

色   丝状长径（毫米）                      0.2￣1.5 

     点状直径（毫米）                      0.2￣0.8 

斑   允许总数（个/100厘米[2]）                ≤4 

     透明颗粒允许数量（个/100厘米2）          ≤30 

波纹（毫米）                                  ≤0.3 

 

  注：①缺陷宽度小于点状下限的按丝状计。 

      ②非圆形缺陷的直径均按算术平均值计。 

    (2)坩埚口部不得有缺口，不得有深、宽大于4毫米的表皮崩落。 

    (3)坩埚内表面不允许有色斑沾污和析晶。 

    (4)坩埚内表面涂层上每100平方厘米中允许透明颗粒（直径在0.5￣0.7毫米）为10 

个。 

    二、形状与规格尺寸 

3．半导体用透明石英玻璃坩埚的形状与规格尺寸应符合下图及表３规定。 

表３ 

外  径     高  度    底半径      厚度范围      同一横截面的厚度公差 

  D          H         R 

 80+0.6     60±2     D-1        2.0±0.5             0.3 

   -0.9              ─── 

                       2 

 90+0.6     70±2     D-2        2.0±0.5             0.3 

   -0.9              ─── 

                       2 

100+0.6     80±3     D-2        2.3±0.5             0.3 

   -1.1              ─── 

                       2 

106+0.6     90±3     D-2        2.3±0.5             0.3 

   -1.1              ─── 

                       2 

114+0.6     75±3     D-2        2.3±0.5             0.3 

   -1.1              ─── 

                       2 

130+0.6    110±3     D-2        2.5±0.5             0.4 

   -1.6              ─── 

                       2 

    三、试验方法   

4．化学成分   

    按JC 1866－81《石英玻璃原料及制品中微量杂质元素的分析方法》中的规定 

进行。   

5．热稳定性   

    按JC187－73《石英玻璃热稳定性检验方法》中的规定进行。   

6．抗结晶性   

    按JC 188－73《石英玻璃抗结晶性检验方法》中的规定进行。   

7．气泡   

    按JC190－81《透明石英玻璃气泡、气线检验方法》中的规定进行。