本标准主要用于半导体工业采用的透明石英玻璃仪器。其他冶金、化工、科学研 

究等所用透明石英玻璃仪器之技术要求均可参考本标准执行。   

    透明石英玻璃仪器有QSY透明石英玻璃仪器和DSY透明石英玻璃仪器两种。      

                          技术要求   

1．透明石英玻璃仪器的化学成分，热稳定性，抗结晶性和高温变色性，均不低于同 

类管材的要求。   

2．透明石英玻璃仪器在加工过程中，应尽量消除应力，必须保证在常温下逐步升温 

至1100℃，在炉内自然冷却后无炸裂。   

3．两种透明石英玻璃仪器均按加工部位的外观指标分为二级（见下表）。 

 

           项        目                             一  级        二级 

色   加工过程中混入（毫米）                       0.1￣0.3      0.3￣1.0 

斑   允许数量（个/100厘米[2]）                       ≤2          ≤2 

外   吊管接口应做到轴向平行径向垂直加工          1/2管材壁厚    管材壁厚 

     表面凸凹不大于所用管材壁厚                                         

型   长度未注明非重要部位的自由公差（毫米）          ±3          ±3　 

     锥度（比例）                          1∶5、1∶10、1∶15   1∶5、1∶10、1∶15 

     磨口与未加工亮面呈直径圆周，弯曲度（毫米）      ±1          ±2  

磨   磨口内亮面（毫米[2]）                          不允许         8 

口   允许数量（个/100厘米[2]）                      不允许        ≤1 

配   塞口的高低公差（毫米）                         ±3          ±3   

合   二通活塞对孔误差                               ≤1/4        ≤1/3 

     多通活塞对孔误差                               ≤1/2        ≤3/5 

水   面积（毫米[2]）                                ≤10         11￣50 

迹   允许数量（个/100厘米[2]）                      ≤2          ≤2 

云   在加工复杂器件的过程中不易避免的部位           不允许      不允许 

雾   （半透明云雾） 

焊   焊接之弯曲处熔合圆滑                        必须完全熔合    必须熔合            

     折料和料疙瘩处厚度                        在壁厚公差范围内  在壁厚公差范围内                     

接   炸裂纹                                          不允许       不允许 

     析晶和指纹印                                    不允许       不允许 

 

    注：①密封性检验方法：将水盛入磨口仪器中，在不涂油脂的情况下，将塞塞紧， 

倒翻10次，每次在10秒内，用滤纸擦试无渗出水液为封口性能合格。 

        ②QSY透明石英玻璃仪器的非主体部分，在不影响性能的情况下，可用外径D19 

毫米以下的DTS1透明石英玻璃管（棒）。 

 

4．透明石英玻璃仪器，非加工部位（允许加工后达到要求）的技术要求如下。 

（1）QSY透明石英玻璃仪器：   

仪器的一级品外观指标不低于相应管材的二级品；   

仪器的二级品外观指标不低于租应管材的三级品。   

（2）DSY透明石英玻玛仪器：   

仪器的一级品外观指标不低于相应管材的二级品；       

仪器的二级品外观指标不低于相应管材的四级品。