本标准适用于多晶硅还原炉用不透明石英玻璃炉衬。 

 

                        一、技术要求 

1．物理、化学性能 

（1）化学成分 

    二氧化桂含量不低于99．9％。 

（2）热稳定性 

    试样在800℃至20℃温度急变下试验三次，不产生裂纹。 

 

2．外观指标 

（1）产品经加工后，两端应磨平，端面与中心轴垂直，内、外垒应平滑、整洁，端面边 

缘不应有深度大于8套米、轴向长度大于15毫米的崩落。 

（2）色斑最大轴径尺寸应小于10毫米，轴径3￣10毫米的色进平均每100平方厘米面积上 

不得多于2块，最密处每100平方厘米面积上不得多于4块。 

（3）凹凸不平：应在壁厚公差范围之内。 

（4）不允许有裂纹。 

（5）椭圆度；同一横截面长短轴之差不得大于外径允许公差。 

 

                        二、规格尺寸 

3．产品规格尺寸应符合下表现定 

                         单位：毫米 

                外    径      壁    厚       壁    厚       同一横截面       最大长度 

  外    径      公    差      范    围       公    差       壁厚公差 

    400          ±4.0         12￣15         ±4.0            4.0            1200±5 

    450          ±4.5         12￣15         ±4.0            4.0            1200±5 

    500          ±5.0         14￣17         ±5.0            5.0            1200±5 

    550          ±5.5         14￣17         ±5.0            5.0            1200±5 

    600          ±6.0         15￣20         ±6.0            6.0            1200±5 

注：非本标准列规格，由生产和使用单位双方商定。 

 

                        三、试验方法 

4．化学成分 

    按JC  186－81《石英玻璃原料及制品中微量杂质元素的分析方法》中的规定进行。 

 

5．热稳定性 

    按JC  187－73《石英玻璃热稳定性检验方法》中的规定进行。